Elementanalytik im Helium-Ionen-Mikroskop

Das vorrangige Ziel des Vorhabens beinhaltete den Nachweis der technischen Umsetzbarkeit schutzrechtlich gesicherter Forschungs- und Entwicklungsergebnisse zum Thema "Elementanalytik im Helium-Ionen-Mikroskop (HIM)" mittels eines Demonstrators zu erstellen und zu testen. Anschließend sollte dieser Demonstrator in Zusammenarbeit mit einem geeigneten industriellen Partner bzw. in einer Ausgründung als Prototyp gefertigt und in die Herstellung überführt werden. Hierzu zählten u.a. der Aufbau eines Testsystems sowie eine Analyse und Charakterisierung der erbrachten Eigenschaften unter realen Bedingungen. Die erbrachten Ergebnisse flossen in den Bau des Demonstrators ein.
Im Detail wurden dazu umfangreiche Simulationen zum Extraktionssystem der Apparatur durchgeführt und darauf basierend mit der Fertigung der mechanischen und elektrischen Komponenten begonnen. Diese Arbeiten wurden fortgesetzt und mit der Adaption der bis dato bestehenden Signal- und Datenverarbeitung begonnen. Erste Experimentteile wurden an das vorhandene Helium-Ionen-Mikroskop am Standort angebracht und in Betrieb genommen. Danach begannen extensive Testreihen mit der neuen Extraktionsoptik die erfolgreich abgeschossen werden konnten. Zudem wurden bereits umfangreiche Vorarbeiten für die Fertigung des Demonstrators basierend auf der funktionierenden Testapparatur vorgenommen. Die Fertigstellung des finalen Demonstrators erfolgte wie geplant.
Nach Abschluss des Projektes wurde die Firma HZDR Innovation GmbH für eine gemeinsame Vermarktung des entstandenen Produktes gewonnen.
Die Ergebnisse wurden u.a. in der Fachzeitschrift "Ultramicroscopy" veröffentlicht. Der englischsprachige Artikel „Time-of-flight seccondary ion mass spectrometry in the helium ion microscope” wurde ebenso auf der Internetseite des Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf publiziert.

Helium-Ionen-Miskroskop
© Ultramicroscopy 198 (2019) page 10–17
Ultramicroscopy 198





Quelle: Ultramicroscopy


Die Erfindung wurde im Rahmen von WIPANO Öffentliche Forschung - „Weiterentwicklung von Erfindungen“ gefördert.

Das Praxisbeispiel in Kurzform

Titel der Erfindung: Elementanalytik im Helium-Ionen-Mikroskop
Forschungseinrichtung:Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf e. V. - Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
Förderakttivität:WIPANO Weiterentwicklung von Erfindungen
Förderzeitraum:01.01.2017 bis 30.06.2018
Fördervolumen:84.000 Euro
Ansprechpartner:Dr. René Heller
Telefon: 0351-2603617
Email:r.heller@hzdr.de