MehrZAD - Mikroakustischer Zerstäuber für Anwendungsrelevante Demonstrationen

Im WIPANO-Vorhaben „MehrZAD“ wurde der Labordemonstrator eines kompakten akustofluidischen Aerosolgenerators mit einer am IFW Dresden entwickelten Technologie so weiterentwickelt, dass er mit industrieüblichen, kostengünstigen optischen Lithografieverfahren (insbesondere der "i-Line"-Lithografie) herstellbar ist. Dazu kam für die Realisierung der on-chip Fluidzufuhr das zukunftsweisende Verfahren der mehrstufigen Laminierung fotosensitiver Folien auf Piezosubstraten in Kombination mit deren fotolithografischer Strukturierung zum Einsatz. Basierend auf akustofluidischen Zerstäuberchips als Kernelement der Technologie erfolgte die Herstellung eines Demonstrators (Chip und Peripherie) mit an den Einsatzzweck angepassten Eigenschaften. Zudem wurde die Validierung der Leistungsfähigkeit des Aerosolgenerators durch experimentelle Untersuchungen an anwendungsrelevanten Flüssigkeiten und in einem anwendungsrelevanten Szenario in einem externen Labor durchgeführt. Der Schwerpunkt der technologischen Testung lag auf der Massenspektrometrie an flüssigen Analyten; gleichwohl können zukünftig ebenfalls Anwendungen wie die Inhalationstherapie, die strukturierte Materialabscheidung und olfaktorische Displays von den Entwicklungen im Vorhaben profitieren.

Das Praxisbeispiel in Kurzform

Titel der Erfindung: Mikroakustischer Zerstäuber für Anwendungsrelevante Demonstrationen
Zuwendungsempfänger: Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V.
Förderaktivität:WIPANO Öffentliche Forschung - Weiterentwicklung von Erfindungen
Förderzeitraum: 01.07.2020 – 31.10.2021
Fördervolumen:75.979,47 €

Ansprechpartner:

Dr. Mehrzad Roudini
Email: m.roudini@ifw-dresden.de

MehrZAD
© Leibniz Institute for Solid State and Materials Research Dresden Institute of Emerging Electronic Technologies


Abbildung: Im Rahmen des Vorhabens entwickelte SAW-Aerosolquelle: SAW chip (links), Chiphalter (mitte), kompakte Aerosolquelle während des Betriebs (rechts)

Die Erfindung wird im Rahmen von WIPANO Öffentliche Forschung - „Weiterentwicklung von Erfindungen“ gefördert.

Weitere Informationen entnehmen Sie der Website der Arbeitsgruppe am Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V..